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Microelectronica
Mariano Aceves Mijares
INAOE
maceves@ieee.org
Zhenrui Yu
INAOE
zyu@inaoep.mx
Ragnar Kiebach
INAOE
quodlumen@gmx.de
Se presentarán trabajos de investigación que actualmente se realizan en instituciones mexicanas orientados hacia los diversos procesos de fabricación de dispositivos semiconductores y circuitos integrados. Los principales tópicos estarán enfocados, aunque no restringidos, a problemas actuales de las tecnologías de semiconductores compuestos y principalmente del Silicio, como lo son la integración de procesos, introducción y desarrollo de nuevos materiales, depósito de películas delgadas, técnicas de caracterización, grabado de películas y micromaquinado.
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Memorias del Congreso XXVIII en Línea