SESION

Procesos en Semiconductores

Organizador: Dr. F. Javier De la Hidalga Wade

En este Simposio del XXIV Congreso de la SMCTSM, se presentarán trabajos de investigación que actualmente se realizan en instituciones mexicanas orientados hacia los diversos procesos de fabricación de dispositivos semiconductores y circuitos integrados. Los principales tópicos estarán enfocados, aunque no restringidos, a problemas actuales de las tecnologías de semiconductores compuestos y principalmente del Silicio, como lo son la integración de procesos, introducción y desarrollo de nuevos materiales, depósito de películas delgadas, técnicas de caracterización, grabado de películas y micromaquinado. Se contará, tentativamente, con las siguientes pláticas invitadas:

  • Dr. Víctor Hugo Méndez, Instituto de Investigación en Comunicación Óptica, IICO, UASLP: Research and Development of Quantum Hall Effect Devices for Applications in Metrology.
  • Dra. Claudia Reyes Betanzo, INAOE, Grabado Seco: Aplicaciones en Micro y Nanotecnologías.
  • Dr. Alfonso Torres Jacome, INAOE, Desarrollo de una Tecnología 0.8 um-BiCMOS Optimizada con Nuevos Materiales.
  • Dr. Salvador Alcántara Iniesta, Centro de Investigaciones en Dispositivos Semiconductores del ICUAP, Sensores o Actuadores tipo Trampolín y su Caracterización para ser utilizados en Dispositivos Biosensores Micro y Nano-Electromecánicos.
  • Dr. Orlando Zelaya Ángel, Departamento de Física, CINVESTAV: Crecimiento de Películas Delgadas.

Atentamente,
Dr. F. Javier De la Hidalga Wade
Departamento de Electrónica, INAOE
Tel/Fax: (52)(222) 247-0517
jhidalga@inaoep.mx